《表3 部分稀土钙钛矿2D纳米材料列举a)》

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《稀土钙钛矿纳米材料的可控合成进展》


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a) SG&SPC,溶胶凝胶法(sol-gel method)+旋涂法(spin-coating method);CSD,化学溶液沉积法(chemical solution deposition);SPS,固相合成法(solid phase synthesis);NFm,纳米薄膜(nanofilms),NSt,纳米片晶(nanosheets)

除了以上几种薄膜制备方法,也有利用溶胶凝胶法和旋涂法相结合的方法制备氧化物型稀土钙钛矿纳米薄膜.这种制备薄膜方法先是将原料制成凝胶状,再利用旋涂,使原料均匀平铺在衬底上,快速退火后得到氧化物型稀土钙钛矿薄膜材料[128].这种制备薄膜工艺和旋涂法制备薄膜工艺类似,如表3所示,SG&SPC和SPC得到薄膜的厚度都比较接近,然而这两类方法对薄膜厚度控制没有PLD精准.旋涂法制备薄膜的厚度很大程度上取决于旋涂工艺,旋涂后得到的前驱体薄膜越薄,退火后薄膜厚度就越薄,但也要保证薄膜的完整性.而薄膜完整性及薄膜粒度大小与前驱体中金属源的浓度、前驱体的黏度、退火升降温速率及退火温度有关.高黏度的前驱体会导致薄膜不均匀,低黏度或低浓度前驱体容易导致薄膜龟裂,过快的退火工艺也会导致薄膜龟裂,而且会降低薄膜的机械强度.因此,在制备薄膜时应该根据材料种类及应用特点,合理设计薄膜的制备工艺,优化薄膜制备工艺中的各项参数.