《表2 表面非晶硅层与亚表面损伤高度》

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《刀具前角对单晶硅超精密加工表面质量的影响》

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图4为4种调整前角刀具切削26nm后工件产生具有5、6配位数的硅原子以及发生相变的硅原子总数统计图。图4中具有5配位数的硅原子的数量明显多于具有6配位数的硅原子。-10°前角刀切削产生配位数为5的硅原子最多，-20°前角刀产生数最少，而具有6配位数的硅原子随着刀具负前角增加而增多。具有5和6配位数的硅原子数越多，亚表面损伤情况越严重。结合图4与表2所知，-10°前角刀切削产生的亚表面损伤最严重，-20°前角刀产生的亚表面损伤最低。