《表4 试样表面氧含量：表面化学处理对铸造多晶硅棒表面形貌及切割性能的影响》

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《表面化学处理对铸造多晶硅棒表面形貌及切割性能的影响》

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选用方案4对铸造多晶硅棒进行腐蚀，将腐蚀后的硅棒进行氧化试验。氧化后将硅棒加工成尺寸为30mm×20mm×10mm的试样。表4为试样表面氧含量。可以看出，方案7生成的SiO2最多，同时反应时间也最短，以上说明，温度越高，氧化程度越好。但由于硅棒表面残留有KOH，会促进H2O2分解[5]，温度升高会加速H2O2的分解，因此没有再继续试验更高的反应温度。