《表1 电容感应模块材料参数》

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《感压膜片预张力对电容薄膜真空规输出特性的影响》

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以现有的测量上限为1.33 k Pa的电容薄膜真空规为对象，取感压膜片直径为72 mm，厚度为45μm，材料选用Inconel 600合金；固定极板直径为39 mm，厚度为3μm，材料选用Ag；两极板间距为250μm。可变电容仿真主要涵盖力场和电场，设置材料的弹性模量、密度、泊松比及相对介电常数，由于电容值的大小与两极板介电常数无关，故对两极板介电常数不作设置，表1为材料参数。采用用户控制网格方式建立网格划分模型，通过设置单元最大尺寸，形成扫掠网格。该有限元模型主要以六面体网格为主，网格单元数为68 429，结点数为98 713，电容感应模块的网格划分模型如图2所示。