《表1 不同预固化温度的剪切强度测试结果Tab.1 Test results of shear strength for different pre-curing temperatures》

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《圆片级BCB键合的Cu-Cu互连技术研究》


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选择5个已完成一定的预固化的试验样片移入键合机中进行键合，采用推拉力测试仪进行剪切强度实验，共分为5组，每组样品数量5只，剪切面积为2 mm×2mm，测试结果如表1所示。

图表编号XD0021735300    严禁用于非法目的
绘制时间2018.04.25
作者丁蕾、陈靖、杜国平、刘米丰、王立春
绘制单位上海航天电子技术研究所、上海航天电子技术研究所、中国电子科技集团公司第五十五研究所、上海航天电子技术研究所、上海航天电子技术研究所
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