《表2 切割废料的EDS结果》

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《铝硅合金化法回收利用晶体硅切割废料研究》


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由图2可知,切割废料形貌为片层状,且大部分颗粒粒度不到2μm,尺寸较为均匀。为确定不同形貌的颗粒成分,在更高的倍数下进行EDS分析,结果如表2所示。