《表1 Ti基吸气剂简介》

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《非蒸散型薄膜吸气剂的研究现状及应用进展》

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Ti基吸气剂薄膜出现较早，如表1所示，Benvenuti用磁控溅射法在不锈钢管道内壁镀NEG薄膜，证实真空室暴露大气后，只需对管道进行加热即可使NEG恢复吸气能力[6]。他在铜片上制备Ti-Zr-V薄膜时，发现基片温度<200℃时为光滑致密结构；在200~300℃时出现多孔柱状结构，孔隙率和比表面积增加；高于300℃时晶粒长大粗化且激活温度升高。