《表4 Zr-Co系吸气剂简介Table 4Brief introduction of Zr-Co getter》

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《非蒸散型薄膜吸气剂的研究现状及应用进展》

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Ti基吸气速率较慢，工作温度均在400℃以上。Zr基吸气剂（如表2），特别是Zr-V基（如表3）和ZrCo基（如表4）吸气剂具有激活温度低、吸气速率高等优点，受到广泛关注。其中Zr-V-Fe具有选择性吸气功能、激活温度低、吸气性能好和容易制备等优点，一直是研究热点。