《表1 MOEMS加速度计主要技术指标和特点》

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《高精度光学MEMS加速度计研究现状及发展》

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在目前已报道的微光机电加速度计中，根据检测方式能够初步分为四种类型：光纤布拉格光栅式加速度计、法布里-珀罗干涉式加速度计、光子晶体纳米腔式加速度计、光栅干涉衍射式加速度计。这些原理的加速度计的技术方案和典型技术指标如表1所示[17，18]。