《表2.2不同形核长晶工艺硅锭出材率》

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《异质形核生长高效多晶硅研究》

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通过形核控制及工艺提升，Si O2异质形核全熔工艺使硅料完全熔化，尾部红区缩短，降低了尾部少子寿命不良长度，硅锭平均少子寿命提升，再结合全熔工艺无需保留籽晶料的特点，大大提升了硅锭的出材率，出材率可达到66.21%，结果数据对比如下表2.2。结合各硅锭出材率分布看，如图2.3所示，Si O2异质形核全熔工艺出材料率数据稳定性更高。