《表1 微电机可靠性研究的各参数具体值》

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《基于互依关系的退化与随机冲击建模研究》

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为了验证提出的基于互依关系的退化与冲击模型的适用性与有效性，本节用具体实例进行分析。案例关于在Sandia国家实验室开展的针对某微机电系统中微发动机的磨损试验。它由一个正交梳状驱动器机械地连接在一个旋转齿轮上[14]。根据试验研究，微型发动机的齿轮和枢接处接触面产生的磨损是其主要的退化模式，另外当冲击发生时碎片会出现在冲模表面，当冲击尺寸超过某特定阈值时会造成齿轮毂损坏（图2）。因此微发动机遭受自然退化和随机冲击两个过程。该模型的参数如表1[16，18，20]所示。