《表2 激光频率稳定性测试结果》

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《基于Fabry-Perot光学干涉腔的真空计量装置研究进展》

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备注：利用Allan方差，得到频率稳定度。频率随时间单向漂移约0.1 Hz/s。

激光频率稳定性决定装置锁频精度，同时也决定装置的测量不确定度。针对该装置的激光频率稳定性进行了测试，首先将检测腔内压力抽至10-5Pa以下，利用波长计测定激光频率粗值ν，再利用频率计测定光频率梳与腔内谐振激光的拍频νbeat、纵模长度νFSR和光梳初始零点位置ν0。模数N可由N=|ν/νFSR|测得，最后利用νLaser=ν0+NνFSR+νb即可计算检测腔内谐振激光频率νLaser的精确值，并可用δ=?ν/ν评定其不确定度。基于F-P光学干涉腔的真空计量装置激光频率稳定性测试数据及评定结果如表2所列。