《表7 NIM的比对样品测量结果及比对结果》

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《纳米尺度氧化铪薄膜膜厚标准物质的研制》

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亚太计量规划组织（APMP）组织了GIXRR方法测量薄膜厚度的比对，由中国计量科学研究院、日本计量院、韩国计量院、台湾工研院参加。比对样品为名义值2.5nm和5.0nm的Hf O2薄膜，比对结果分别见图3、图4和表7。