《表3 两种微蚀工艺参数对比》

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《新型PEDOT·PSSNa有机导电胶工艺及影响其阻值的因素》

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上述两类微蚀剂的反应机理中可以看出，在过硫酸钠/硫酸型微蚀剂的蚀刻机理中，硫酸并没有参与蚀刻；而在双氧水/硫酸型微蚀剂的蚀刻机理中，硫酸则是必须的。硫酸在两类微蚀剂中所扮演的角色是不同的，在过硫酸钠/硫酸型那里起到阻碍蚀刻的作用，而在双氧水-硫酸型那里则起到加速蚀刻的作用，其具体的工艺参数控制范围如表3。