《表1 公差分析及数值Tab.1 Tolerance analysis and value》

  提示：宽带有限、当前游客访问压缩模式

本系列图表出处文件名：随高清版一同展现

《一种用于高斯光束远场整形的小型双透镜系统设计》

1. 获取 高清版本忘记账户？点击这里登录

1. 下载图表忘记账户？点击这里登录

考虑到实际加工及装配的影响，对设计组件进行了包括间隔、厚度、离轴、倾斜、面型在内的公差分析，具体数值如表1所示。其中非球面的面型精度由具体的加工方式决定，目前国内金刚石车削技术能够达到小于0.2μm的面型精度和小于0.02μm的粗糙度[18]。已知面型误差为正态分布[19]，通过生成一标准正态分布的随机误差矩阵模拟加工误差，其中最大差值等于最大PV值0.5μm；再由Zemax的Grad Sag面型[20]，将随机面型误差叠加在非球面的矢高上，图6所示为所叠加的矢高误差分布。