《表2 夹杂物能谱分析结果（质量分数）》

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《轴承套圈外径面相关显示分析》

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为了进一步对缺陷内夹杂物成分进行确认，通过采用电子探针能谱功能对表面缺陷夹杂物内成分进行检测。能谱检测结果显示夹杂物含有O、F、M g、A l、S i等元素，具体检测结果如图6所示，具体数据见表2。