《表1 电热执行器几何及材料参数表》

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《内置MEMS隔断机构的微起爆装置》

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本研究的隔断机构由4个电热执行器形成对称的2组驱动单元，以实现隔板的双向位移，通过4路驱动电压来分别控制4个棘爪的位移X1～X4，通过多个周期的往复驱动，使隔板可以进行大位移运动[8]。针对单个V型热执行器，利用Comsol有限元仿真软件，得到该电热执行器在8V电压下可产生9.86μm的位移及711K最高温度。该仿真模型充分考虑了衬底与盖板间的空气层对梁散热的影响，部分几何及材料参数如表1所示，可通过多个热执行器的串联增加驱动力以提高器件可靠性。