《表1 抛光工具低阶固有频率》

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《机器人气囊抛光SiC光学元件加工特性研究》

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根据仿真计算结果可知，机器人气囊抛光工具低阶固有频率较高，如表1所示。1阶固有频率为137.37Hz，机器人抛光的加工转速一般为800～1 500r/min，因此抛光工具具有较好的动态性能。