《表2 评价指标对比：大径厚比深拱形光学元件高抛变形抑制方法》

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《大径厚比深拱形光学元件高抛变形抑制方法》

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注：AST表示象散（astigmatism）变形量；wave=632.8nm。

按照表1列出的3组工艺参数，采用韩国Kwangjin公司KJSC–3.0高速抛光机对K9材料、径厚比26、球心角123°的深拱形光学元件（图2）进行抛光。抛光后，采用激光干涉仪测量面形精度，结果如图3和图4所示。根据测量结果，表2列出了凹凸球面在3组不同工艺参数下的抛光变形程度。通常依据Preston方程和面形误差，通过调整工艺参数，改变抛光表面各点的压力和相对速度，进而调整相对去除速率，能够提高面形精度，但对于这种大径厚比深矢高光学零件，加工诱导变形对面形精度影响很大，单纯调整工艺参数很难消除变形造成的面形误差。