《表1 IC制造领域检索关键词列表》

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《基于专利分析方法的全球集成电路制造技术发展态势研究》

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本次专利检索结果为2010年1月1日至2019年12月31日申请的专利家族数据，利用集成电路制造领域关键词构建了专利检索式，用于界定专利分析的主要研究范畴。具体内容见表1。