《表1 制备过程杂质去除：气相色谱法在六氟化硫制备中的应用》

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《气相色谱法在六氟化硫制备中的应用》

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制取六氟化硫时产生的副产物主要有含硫的低氟化物和氟、硫、氧的化合物。杂质含量取决于设备的结构和原料的纯度，在电解时阳极采用碳棒作为电极、氟化氢钾作为电解液，因此在电解制取氟时可能带入HF、OF2、CF4、C2F6、C3F8等杂质。氟硫反应时可能生成S2F2、SF2、SF4、S2F10等低氟化物。当原料含有水分和空气时，还能生成SOF2、SO2F2、SOF4、SO2等[3]。六氟化硫典型制备工艺和纯化工艺如图1和表1所示。