《表4 取样点选取：气相色谱法在六氟化硫制备中的应用》

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《气相色谱法在六氟化硫制备中的应用》

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六氟化硫在合成过程中，会产生多种杂质气体，通过物理化学反应，去除气体中的杂质使其达到使用要求。国内主要的六氟化硫气体生产厂商在处理流程上有一定差异，但主要流程大致相同，绘制气体处理流程如图4所示。选取不同工艺阶段气体，跟踪气体中杂质的变化规律。项目组主要选取国内5个公司的六氟化硫工业过程气体开展试验研究，通过氦离子色谱仪直接间接生产线，对气体状态进行分析。选取了5个生产厂家，现场8个采样点分别进行测量，具体采样点如表4所示。