《表1 实验温度和循环次数设置》

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《原子层沉积技术对纤维素膜功能化的影响》

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首先，设置DEZ的脉冲时间为0.05 s，反应时间为10 s，随后通入吹扫气体N2（时间为20 s），将残留在纤维素膜表面未被吸附的DEZ蒸汽及反应副产物带出腔室；随后设置去离子水的脉冲时间为0.1 s，反应时间为10 s，N2吹扫气体时间为20 s，将残留在纤维素膜表面未被吸附的水蒸汽和反应副产物带出腔体，以上为1个完整的原子层沉积过程，整个循环反应总时间为60.15 s。循环过程往复进行，即可实现多循环原子层沉积的反应。本文实验制备了7种循环次数（10、20、30、40、50、100、200）的纤维素膜，相关参数设置如表1所示。