《Table 2 Analytical expressions of the resonance frequency, effective stiffness and f0/kefffor the r

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《环形、矩形及I2形MEMS原子力显微镜探针的力灵敏度（英文）》


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The comparison firstly deals with the resonance frequency of the elliptic mode ring resonator，length extension mode of the rectangular plate and length extension mode of the I2 resonator.The structure material is defined as silicon.The analytical expressions of the resonance frequency and effective stiffness of these probes are listed in Table 2.

图表编号XD00188446600    严禁用于非法目的
绘制时间2018.05.15
作者熊壮、屈明山、张照云、杨荷
绘制单位中国工程物理研究院电子工程研究所、中国工程物理研究院电子工程研究所、中国工程物理研究院电子工程研究所、中国工程物理研究院电子工程研究所
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