《表1 传感器的几何结构参数》

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《基于HTCC的新型薄膜高温压力传感器》

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由于平面螺旋电感本身的寄生电容很小，所以在传感器设计中，在电感线之间加入多组叉指电容可以有效提高电感的自身寄生电容。传感器基底上的电感线圈设计成矩形螺旋电感线圈，叉指电容设计为垂直叉指。传感器的结构如图3所示，其中la是矩形电感线圈的长度，lb是矩形电感线圈的宽度，lc是叉指电容电极的长度，传感器的几何结构参数如表1所示。