《表1 声学性能参数Tab.1 Acoustic performance parameters》

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《电容式硅基MEMS传声器的结构优化设计》

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数据被输出到用户的SoundCheck报告上，测试结果如表1所示，顶端开口麦克风灵敏度最大为-40.4 d B，信噪比则达到了57.2 dB；底端开口麦克风灵敏度可以达到-36.7 d B，信噪比达到64.7 dB。目前市场上的行业标准值为:灵敏度（-42±2）d B，信噪比（65±2）dB，频率响应100~104Hz[11]。可见参数值均符合市场行业标准，故此MEMS麦克风产品的生产制造工艺具有可行性，在获得高灵敏度的同时保证了器件的可靠性。