《表1 硅基微波光子滤波器的结构与性能比较》

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《硅基微波光子滤波器的研究进展》

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为进一步提升硅基微波光子滤波器的性能指标与集成度，满足在实际微波系统中的应用需求，未来主要需要在以下几个主要方向上努力：（1）面向微波光子滤波器的系统需求，实现更高性能的核心功能器件，包括高功率可集成硅基光源、高线性度低驱动电光调制器、低损耗高Q值无源光滤波器及高功率光电探测器；（2）基于硅基光电混合集成的工艺，实现光芯片与线性电放大器、跨阻放大器等电芯片的集成，提升滤波器系统的增益、噪声系数等指标；（3）形成完善成熟的硅基微波光子滤波器的封装工艺，解决管壳封装、射频封装、芯片温度反馈控制等重要工程问题。