《表1 RRC金属离子卡紧前后对比》

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《14nm后段微型金属桥接缺陷的研究与解决方案》

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（2）FilterCOA的卡紧。根据业界经验，并结合实际情况，针对filter出厂的COA的各项指标进行卡紧（如表2所示），特别是金属离子的含量，防止filter在使用过程中污染光阻，最终导致MicroBridge形成。此项探索属于首次，filter作为硬件消耗品，以前没有COA管控项目，通过filter的COA管控，能够更好地改善Defect。