《表3 添加La2O3-Li2O-CaO的AlN陶瓷EDS分析》

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《复合烧结助剂对氮化铝陶瓷介电性能的影响》

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对材料微区（图4 （a）、图5（a）和图6（a）中的黄色区域） 进行EDS元素分析，从图4（b）、图5（b）和图6（b）及表2、表3和表4可以看出，含Y2O3-Li2O-CaO和La2O3-Li2O-CaO两种复合助剂的AlN陶瓷晶粒中氧含量都不低于20%，而添加CeO2-Li2O-CaO复合助剂的AlN陶瓷晶粒中氧含量小于10%。AlN中的氧主要以Al2O3的形式固溶在晶格中，而氧的进入会产生Al空位，缺陷方程式为: