《表1 原料Fe Si5Cr5.5合金粉末和不同沉积时间制备的Fe Si5Cr5.5/Si O2粉末样品的电阻率》

《表1 原料Fe Si5Cr5.5合金粉末和不同沉积时间制备的Fe Si5Cr5.5/Si O2粉末样品的电阻率》   提示:宽带有限、当前游客访问压缩模式
本系列图表出处文件名:随高清版一同展现
《流态化气相沉积中FeSi_5Cr_(5.5)/SiO_2核壳结构的演化过程》


  1. 获取 高清版本忘记账户?点击这里登录
  1. 下载图表忘记账户?点击这里登录

将原料Fe Si5Cr5.5合金粉末和经不同沉积时间下处理的Fe Si5Cr5.5/Si O2粉末在2 MPa下压片处理后,用四探针电阻率测试仪测量其电阻率,结果如表1所示。从表中可看出,原料Fe Si5Cr5.5合金粉末的电阻率仅为24Ω·m,随沉积时间增加,Fe Si5Cr5.5/Si O2复合粉末的电阻率逐渐增大,这是因为具有高介电常数的Si O2绝缘介质沉积在低介电常数的Fe Si5Cr5.5合金粉末表面,降低了载流子迁移率,粉末的整体电阻率提升。由TEOS分解生成的非晶Si O2绝缘层的电阻率最高可达4.7?1011~9.6?1011Ω·m[27]。根据复合粉末电阻率计算模型,Fe Si5Cr5.5/Si O2核壳结构粉末电阻率见式(1)[28,29]: