《表1 流化气相原位沉积前后Fe–6.5%Si合金粉末表面成分》

  提示：宽带有限、当前游客访问压缩模式

本系列图表出处文件名：随高清版一同展现

《FCVD-SPS法制备高硅钢软磁复合铁芯及电磁性能研究》

1. 获取 高清版本忘记账户？点击这里登录

1. 下载图表忘记账户？点击这里登录

%

图2所示为原始及流化气相原位沉积后Fe–6.5%Si合金粉末的微观形貌扫描电子显微镜（scanning electron microscopy，SEM）照片。从图2（a）中可以看出，原料Fe–6.5%Si合金粉末形状基本规则，大部分呈均匀球形或近似球形，尺寸分布均匀，平均颗粒尺寸为~65μm。在放大后的图2（b）中可以观察到原料合金粉末表面的纹路，这是在雾化后凝固过程中由过热度及气流压力共同作用导致的。相比之下，经流化气相原位沉积后Fe–6.5%Si合金粉末的形状和尺寸基本保持不变，但粉末表面粗糙，见图2（c）所示。由图2（d）中局部放大图可知，流化气相原位沉积后的Fe–6.5%Si合金粉末表面纹路变浅，且粉末表面沉积了一层致密的包覆层。表1列出了流化气相原位沉积工艺前后Fe–6.5%Si合金粉末表面的能谱（energy disperse spectroscopy，EDS）成分分析结果。原料Fe–6.5%Si合金粉末表面只有Fe和Si两种元素，Fe元素和Si元素质量分数分别为92.77%和7.23%，非常接近名义原料配比。流化气相原位沉积后Fe–6.5%Si合金粉末表面存在Fe、Si和O三种元素，同原料Fe–6.5%Si合金粉末相比，Fe元素的质量分数有一个明显下降，从92.77%下降至82.68%，但同时伴随着Si元素和O元素含量的增加，Si元素和O元素的平均原子比接近但略小于1∶2。