《表3 不同温度下ZrMoN薄膜和基体等效电路参数值Tab.3 Equivalent circuit parameters of ZrMoN coatings at different tempera

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《物理气相沉积制备ZrMoN薄膜的腐蚀行为》

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采用如图6所示的等效电路模型[19]，对图5中的电化学阻抗谱进行拟合。图6中，Cdl为双电层电容，Rct为电荷转移电阻，Rs为溶液电阻，Rpore为薄膜中的孔洞电阻，Ccoat为薄膜电容。各个元件的参数值如表3所示。从表3中可以看到:Rct的大小顺序为600℃ZrMoN薄膜<基体<200℃ZrMoN薄膜<500℃ZrMoN薄膜<400℃ZrMoN薄膜<300℃ZrMoN薄膜。Rct越大表示膜层的耐蚀性越好，温度为300℃和400℃时，ZrMoN薄膜具有最大的电荷转移电阻，说明该温度下膜层的耐蚀性最好。