《表1 图4不同位置的能谱分析》

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《Ti6Al4V表面氩弧熔覆Ti+BN复合涂层组织及耐磨性》

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图4是不同组织形貌的高倍扫描电镜照片及能谱分析位置。由图4a可知，由颗粒状组织和针状组织构成，部分细小的颗粒相围绕在针状组织周围，尺寸为0.2～1μm，针状组织的尺寸约为0.5μm×（6～10）μm。图4b主要由颗粒状组织和棒状组织构成，棒状组织的尺寸为（0.5～1）μm×（1～2）μm。对不同物相能谱进行分析，EDS分析结果如表1所示。由位置1能谱分析可知，针状组织主要含有Ti(88.73%）、B(11.27%）元素，Ti与B的原子比接近1∶1；位置2、位置3和位置6的颗粒相主要由Ti和N元素组成；位置5的棒状组织主要由Ti(83.49%）和B(16.51%）元素组成，Ti与B的原子比接近1∶2；位置4主要由Ni和Ti元素组成。结合X射线衍射图谱可确定，颗粒相为Ti N，针状组织为Ti B，棒状组织为Ti B2。