《表2 CrSiN涂层的化学组成》

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《等离子体增强磁控溅射CrSiN涂层摩擦磨损行为》

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采用EDS技术分别测试了四种CrSiN涂层的化学成分，其主要组成元素分布结果如表2所示。本文中使用Si的原子数分数与Si和Cr的原子数分数之和的比值Si/（Si+Cr）来表示涂层中Si的相对含量，从表2中可以看出，随着Si靶功率的增加，涂层中Si的相对含量越来越高（8.5%→24.6%）。