《表5 8层微齿轮传动装置的测量尺寸与设计尺寸对比》

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《电化学沉积工艺的优化》

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图9是测量位置示意图，设计数据与测量数据对比如表5所示。从表中可以看到，设计尺寸和测量尺寸比较一致，通孔和层厚偏差较大。通孔由于深宽比较接近，形成胶膜时侧壁并非理想垂直，而测量位置刚好是底圆，故偏差较大。至于层厚，由于平坦化工艺中对厚度的把握完全凭经验和肉眼，而且为了保证层与层之间的结合力，会过度研磨，故实际厚度往往比设计的小。由于SU-8胶在应力作用下会比金属产生更大伸缩，故实体尺寸通常偏大，而镂空尺寸通常偏小。表6比较了电化学沉积工艺优化前后5层微齿轮传动装置的加工时间和成品率。通过表6可知，生产周期从675 h缩短到357 h，加工时间缩短了约47.1%，成品率从约4.5%提升到约90.9%。