《表6 电化学沉积工艺优化前后5层微齿轮传动装置加工时间和成品率比较》
图9是测量位置示意图,设计数据与测量数据对比如表5所示。从表中可以看到,设计尺寸和测量尺寸比较一致,通孔和层厚偏差较大。通孔由于深宽比较接近,形成胶膜时侧壁并非理想垂直,而测量位置刚好是底圆,故偏差较大。至于层厚,由于平坦化工艺中对厚度的把握完全凭经验和肉眼,而且为了保证层与层之间的结合力,会过度研磨,故实际厚度往往比设计的小。由于SU-8胶在应力作用下会比金属产生更大伸缩,故实体尺寸通常偏大,而镂空尺寸通常偏小。表6比较了电化学沉积工艺优化前后5层微齿轮传动装置的加工时间和成品率。通过表6可知,生产周期从675 h缩短到357 h,加工时间缩短了约47.1%,成品率从约4.5%提升到约90.9%。
图表编号 | XD00183312900 严禁用于非法目的 |
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绘制时间 | 2021.01.15 |
作者 | 丰伟、王颉、郑英彬、杨晴、唐彬、支钞、高彩云、孙强 |
绘制单位 | 中国工程物理研究院电子工程研究所、中国工程物理研究院电子工程研究所、中国工程物理研究院电子工程研究所、中国工程物理研究院电子工程研究所、中国工程物理研究院电子工程研究所、中国工程物理研究院电子工程研究所、中国工程物理研究院电子工程研究所、中国工程物理研究院电子工程研究所 |
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