《表2 缺陷的测试结果对比》

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《基于Surfscan的椭圆缺陷测量》

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Surfscan的数据分析系统能够将测得的外延片表面的缺陷形成一个缺陷分布图。先利用光学显微镜在两个样品中缺陷密度较小的区域内各随机标记出三个缺陷，测量其长轴和短轴尺寸，再在扫描仪两次扫描后生成的缺陷分布图中的相应位置中找到该颗粒，并记录两次的扫描结果；将Surfscan测试结果代入式（6）和（10）中，计算出优化后的结果，三者对比如表2所示。通过光学显微镜观察缺陷的形貌，可以判断出A1、A2、A3、B1和B2为椭圆缺陷，缺陷长轴均为外延片的晶向；B3为圆形缺陷。从数据上来看，Surfscan测试的圆形缺陷和椭圆缺陷的长轴结果与光学显微镜测试结果差别较小，Surfscan测量的短轴结果比光学显微镜和优化后的结果偏大。将Surfscan的原始数据以及优化后的数据与光学显微镜观察的结果作对比表明，经过通过椭圆缺陷测试模型优化后的数据更为准确。