《表3 测量结果和实验标准偏差》

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《基于光学干涉法的翻新电子元器件鉴别方法》

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测量仪器采样的位置不同会对测量结果的重复性产生影响，采用不确定度的A类评定。首先，使用测量仪器对器件表面粗糙度进行重复测量10次，测量结果如表3所示，用10次测量结果的实验标准偏差表征A类标准不确定度。在实际测量过程中，测量结果一般取3次测量的平均值，其标准不确定度分量uA(C）计算如下：