《表1 勾型磁场模型参数》
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在实际生产中，要不同拉晶阶段的对坩埚转速、晶棒转速、生长速度和磁场强度及分布等工艺进行调整，但通过实验方法测量磁场强度及分布较为麻烦，故本文采用有限元分析软件对其进行建模。首先建立对施加有勾形磁场的单晶炉模型，基本尺寸以表1所示的8in单晶炉为依据，利用ANSYS软件进行二维仿真[15]。表1中，参数d2和hc计算如下:
| 图表编号 | XD0016853700 严禁用于非法目的 |
|---|---|
| 绘制时间 | 2018.03.01 |
| 作者 | 林智慧、吴华勇、盛虎 |
| 绘制单位 | 西安思源学院、艾默生网络能源有限公司、西安理工大学 |
| 更多格式 | 高清、无水印（增值服务） |
