《表1 TiBN薄膜方阻、电阻率数值及其和各种材料对比Tab.1 Sheet resistance and electrical resistivity of TiBN films on variou

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《渗硼镀膜法制备TiBN薄膜的电子导电性及其潜在应用前景》

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获得镀膜试样以后，用丙酮和酒精对试样表面进行清洗，避免表面附着物影响测试结果。采用四端子法测试薄膜方阻（具体测试数据见表1和表3），测量精度为0.5×10-6Ω，然后通过计算得出薄膜的电阻率，文中所给数据是三次测量的平均值。薄膜的电阻率在苏州晶格电子有限公司测量。使用的测试仪器是ST2258C电阻测试仪，探头型号为ST2558B-F01，针距2+2+2，探针为镀金磷铜半球形针尖。