《表2 图6中各点能谱分析结果及可能相at》

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《Ag-CuO钎料空气反应钎焊AlN陶瓷接头组织及性能》

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如图6所示为AlN陶瓷经过1 350℃/5 h的预氧化处理后的显微组织结构。AlN陶瓷表面形成了疏松的氧化层（标记为A），厚度约为240μm，如图6a所示。结合能谱分析结果（表2）可知，A物相为Al2O3。图6b所示为氧化层放大倍数观察的结果，结果进一步确认Al2O3为疏松多孔结构。