《表4 抽空次数与残留氟化氢浓度关系表》

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《用傅立叶变换红外光谱法检测气体中微量氟化氢》

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测定摩尔分数为50.1×10-6的氟化氢工作气体，记录其稳定的吸光度值，抽空氟化氢气体至-0.1MPa，卸下工作气体，将高纯氮气接入进样系统，采用与工作气体相同的方法进样，采集数据，测定残余的HF含量，重复进样，记录数据见表4。