《表3 抽空时间与残留氟化氢浓度关系表》

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《用傅立叶变换红外光谱法检测气体中微量氟化氢》

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测定摩尔分数为50.1×10-6的氟化氢工作气体，记录其稳定的吸收峰面积，抽空气体池中的工作气体，当真空度达到-0.1 MPa时，开始计时，并采集样品，采集完成后继续抽真空，间隔一段时间，采集样品，测定气体池中的氟化氢的剩余含量，如此反复操作，实验数据如表3所示。