《表2 不同超声换能器预紧状态下的阻抗圆分析结果》
注:Δf=f2-f1。
对不同超声换能器预紧状态下的GMUV进行阻抗分析,获得振动系统谐振频率fr、半功率频率f1、f2和阻抗圆如图2所示。由图2可知,在不同的预紧状态下,阻抗圆基本保持关于横坐标对称,即对最佳电容补偿状态的影响较小,振动系统谐振频率和半功率频率均有较大幅度的变化。将不同超声换能器预紧状态下的阻抗圆分析结果进行整理,结果如表2所示。
图表编号 | XD00162670400 严禁用于非法目的 |
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绘制时间 | 2020.05.01 |
作者 | 周辉林、张建富、冯平法、郁鼎文、吴志军 |
绘制单位 | 清华大学机械工程系、清华大学摩擦学国家重点实验室、清华大学精密超精密制造装备及控制北京市重点实验室、清华大学机械工程系、清华大学摩擦学国家重点实验室、清华大学精密超精密制造装备及控制北京市重点实验室、清华大学深圳研究生院先进制造学部、清华大学机械工程系、清华大学摩擦学国家重点实验室、清华大学精密超精密制造装备及控制北京市重点实验室、清华大学深圳研究生院先进制造学部、清华大学机械工程系、清华大学摩擦学国家重点实验室、清华大学精密超精密制造装备及控制北京市重点实验室、清华大学机械工程系、清华大学摩擦学国家重点 |
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