《表1 解算各自由度的读头组合方式》

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《高精度平面光栅位移测量系统》

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理想情形下安装在工件台上的4个读头存在6种不同的组合方式解算自由度，但工件台在实际运动过程中由于各自由度同步运动，使得自由度之间会存在耦合。若读头组合选取不当将导致某些自由度之间难以解耦，例如采用24读头组合计算水平向自由度时，X、Y向不能解耦，如图5所示；当工件台存在旋转变化时，采用12读头或34读头组合计算Z向位置存在较大偏差等。因此在选取读头组合解算位置时应当优先考虑各自由度的解耦难度，表1给出了本文计算各自由度的读头组合方式。