《表3 高度误差信噪比的方差分析》
方差分析通常用于识别控制因素的影响。表3和表4是利用Minitab软件对微结构高度误差和周期宽度误差的信噪比进行计算得到的ANOVA表,其中G、S、M、L和P分别表示各参数的自由度、离差平方和、均方、检验统计值和伴随概率,表中显著影响因素为保压时间、模具温度和保压压力。由微结构高度误差和周期宽度误差的信噪比特性获得图3和图4的主效应图。从图中可以看到两种误差对应的最佳参数组合分别为A1B3C3D3E3F2和A3B3C1D3E3F2,两个参数组合的仿真结果中最大高度误差和总周期宽度误差分别为3μm、17.4μm和3.4μm、14.7μm。从表3和表4可以看到,虽然两个优化目标的显著影响因素相同,但对其他几个工艺参数也有明显不同的表征,所以进行多目标优化是非常必要的。
图表编号 | XD00162232700 严禁用于非法目的 |
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绘制时间 | 2020.03.10 |
作者 | 刘兴国、霍富荣、薛常喜 |
绘制单位 | 长春理工大学光电工程学院、长春理工大学光电工程学院、长春理工大学光电工程学院 |
更多格式 | 高清、无水印(增值服务) |