《表4 周期误差信噪比的方差分析》

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《衍射微透镜注塑成型工艺参数优化及误差补偿》

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方差分析通常用于识别控制因素的影响。表3和表4是利用Minitab软件对微结构高度误差和周期宽度误差的信噪比进行计算得到的ANOVA表，其中G、S、M、L和P分别表示各参数的自由度、离差平方和、均方、检验统计值和伴随概率，表中显著影响因素为保压时间、模具温度和保压压力。由微结构高度误差和周期宽度误差的信噪比特性获得图3和图4的主效应图。从图中可以看到两种误差对应的最佳参数组合分别为A1B3C3D3E3F2和A3B3C1D3E3F2，两个参数组合的仿真结果中最大高度误差和总周期宽度误差分别为3μm、17.4μm和3.4μm、14.7μm。从表3和表4可以看到，虽然两个优化目标的显著影响因素相同，但对其他几个工艺参数也有明显不同的表征，所以进行多目标优化是非常必要的。