《表2 单晶硅和空气的材料参数》

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《基于克里金模型的微电热驱动器优化设计》

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为了进一步提高仿真效率，快速得到不同尺寸下驱动器的位移，创建MATLAB和ANSYS联合自动仿真平台，流程图如图3所示.图中，N为电热驱动器的仿真组数.自动仿真具体流程如下：1）将电热驱动器在ANSYS图形界面下的仿真操作转化成相应的命令流；2）在MATLAB中随机生成驱动器尺寸，对驱动器命令流文件中对应的尺寸变量重新赋值；3）调用ANSYS程序读取命令流文件从而进行计算；4）得到当前尺寸下驱动器的位移并返回步骤2).