《表1 供试高粱材料:多晶硅生产过程中氢气回收和纯度提升的研究》

《表1 供试高粱材料:多晶硅生产过程中氢气回收和纯度提升的研究》   提示:宽带有限、当前游客访问压缩模式
本系列图表出处文件名:随高清版一同展现
《多晶硅生产过程中氢气回收和纯度提升的研究》


  1. 获取 高清版本忘记账户?点击这里登录
  1. 下载图表忘记账户?点击这里登录

当前工业中含氢尾气回收、提纯氢气的方法主要有三种:深冷分离法、变压吸附法和膜分离法[2]。三种氢气提纯工艺各有优势,但又都存在局限性,其工艺特点见表1。