《表1 供试高粱材料:多晶硅生产过程中氢气回收和纯度提升的研究》
当前工业中含氢尾气回收、提纯氢气的方法主要有三种:深冷分离法、变压吸附法和膜分离法[2]。三种氢气提纯工艺各有优势,但又都存在局限性,其工艺特点见表1。
图表编号 | XD00205933700 严禁用于非法目的 |
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绘制时间 | 2020.12.01 |
作者 | 陶睿 |
绘制单位 | 新疆协鑫新能源材料科技有限公司 |
更多格式 | 高清、无水印(增值服务) |
当前工业中含氢尾气回收、提纯氢气的方法主要有三种:深冷分离法、变压吸附法和膜分离法[2]。三种氢气提纯工艺各有优势,但又都存在局限性,其工艺特点见表1。
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