《表1 等离子设备保养周期及内容和方法》

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《印制板用等离子清洗设备的维护》

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从图1可看出等离子设备的三大条件是真空环境（真空机组，真空检测仪，腔体的密闭）、高能量（射频电源、温度、工艺气体）和介质（腔体、电极、托板架）组成。那么等离子设备的保养应从以上这些方面进行，根据保养项目划分周期分为每日、每周、每月、半年、每年、2～3年，见表1。